主要特點(diǎn)：

成熟的模塊化工藝組合

可面向用戶(hù)工藝需要，定制化設計

已應用于20nm級別IC工藝線(xiàn)

針對LED生產(chǎn)線(xiàn)，提高整體解決方案

全自動(dòng)清洗/手動(dòng)清洗可選

整機防漏液設計

廣泛應用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導體材料等行業(yè)

標準配置：

高純進(jìn)口板材

高結晶工藝管道

高潔凈氣動(dòng)閥門(mén)

防腐機械手

伺服電機驅動(dòng)

人機對話(huà)界面，觸摸屏操作

標準工藝模塊

SC-I溶液腐蝕槽

SC-II溶液腐蝕槽

SC-III溶液腐蝕槽

QDR槽

循環(huán)清洗槽

超聲/兆聲清洗槽

可選模塊：

鼓氮

水溶超聲/水浴兆聲槽

槽內加熱/制冷循環(huán)

漏液檢測

水阻檢測

自動(dòng)供液系統

自動(dòng)配液系統

自動(dòng)滅火系統（有機清洗）

ESD功能（有機清洗）

MES接口（可選）