概述：

本機控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式。

主要特點(diǎn)：

清洗規格：

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手動(dòng)方式實(shí)現放件，取件，槽體間傳送件；腐蝕工藝自動(dòng)補藥液，保證了工藝槽在運行過(guò)程中濃度的穩定性。

（溫度，時(shí)間，DIW水清洗模式、時(shí)間可調）手動(dòng)由觸摸屏界面可設定。

藥液供給及補液方式：分體式CDS自動(dòng)供夜系統；DI槽配有在線(xiàn)式水質(zhì)檢測裝置；配有分體式廢液回收系統。